李皓深諳打人要打臉的道理,只可惜這回他們似乎是沒臉來,重新又換了一批人。
雖然依舊那般的傲慢,年紀也是一般的大,但總歸是差了點感覺。
正當李皓都不想搭理他們的時候,他們卻又主動上門來找虐。
因為在光刻機研究卡殼在193n的這些年里,日本和阿斯麥公司選擇了不同的路線。
日本人堅持以往思路,繼續迭代技術,去研發新的光源,堅持在傳統干式微影技術上一條路走到底。
而阿斯麥則因為加入了美國牽頭的euv聯盟,就主張使用極紫外技術生產設備。
從后面的發展情況來看,euv技術無疑更先進,日本在選擇傳統派陣營時,其實就已經輸了。
但事實上,日本人也并非不愿意嘗試極紫外光技術,而是被美國別有用心的排除在了門外。
畢竟即使它們再怎么愿意當兒子,也架不住人家的忌憚。
就像是之前的廣島協議一般,美國是不會允許有人來實際威脅他們的地位的,即使是干兒子也不行。
只不過在現如今的階段,因為技術儲備的原因,雙方暫時都沒有達成目標。
不過相比于極紫外光技術依舊存在的很多技術難關,日本人這里的157nf2激光的研發卻已經有了實質性進展。
所以在這個時候,對于中國人弄出來的浸潤式光刻機,就讓他們極為排斥。
因為它們能從現有公布出來的數據中看出來,浸潤式光刻機的后續開發空間巨大。
只需要調整光刻膠上面的液體密度,就能將193n的光波長折射成需要的精度。
而且最重要的一點,這種浸入式方案屬于小改進大效果,有著以往的產品經驗,穩定性和開發速度必然都不是它們的新產品能比的。
要知道它們為此可是投入了重資,一旦先機被搶走了,那投進去的錢不就全打了水漂。
反觀阿斯麥這里,見到了這臺光刻機之后,反應也是非常強烈。
隨即就找到了林奔堅詢問情況,原來就在今年的早些時候,他們就已經和林奔堅取得了聯系,并最終同意了對林奔堅給的浸潤式方案進行實驗。
結果他們這還在實驗中的方案,現在卻見這里已經拿出了成品,當然就想要問清楚。
林奔堅對此也是一頭霧水,好在他腦子里面還有理智,沒有選擇直接跳出來。
而是在徐教授發完言下臺后,趕忙就帶著阿斯麥的人,找到了徐教授。
“徐教授,我想請問你們這個浸潤式方案是從哪里來的?”
徐教授之前聽李皓提起過這位,也聽過他的一些研究方向。
所以對于他的質問,并沒有太過意外:“這個自然是我們基于浸沒式光刻技術,自行研發出來的成果,有什么問題嗎?”
浸沒式光刻起源于浸潤式顯微鏡,是由一個意大利科學家在1855年發明的。
相對于光刻機是將圖案縮小投影到光刻膠上,這個顯微鏡的功能則是將圖案放大到d探測器上。
雖然是兩個不同的領域,但根本的原理卻是相通的,所以徐教授這么說也沒問題。
可是架不住林奔堅不信啊,質疑道:“真的是這樣嗎?我記得之前,曾經有一位大陸人接觸過我,希望我能加入到國內的實驗室工作。