反正徐教授對此是非常興奮的,一直都在跟李皓解釋,現在他們生產的光刻機主要就是卡在了光源上。
如果能順利拿下小松研究所的技術,那么他們就可以保證,在明年年底前,生產出193納米的光刻機,將極限工藝遞進到90n,晶圓尺寸升級到12英寸。
這已經基本達到了國際的先進水平,畢竟雖然asl公司早在1989年,就已經生產出第一臺193納米的光刻機。
可之后也只是在極限工藝上做到了進步,在前幾年將極限工藝做到了65n。
畢竟在真實歷史上,光刻機產業在產業在193n波長上卡了將近20年!
如何將工藝跨入到40n工藝,成為了阻擋在所有半導體廠商門口的攔路虎。
直到2002年,浸入式光刻技術的出現,將原先鏡頭與光刻膠之間的介質從空氣換成了液體,從而利用光通過液體介質后光源波長縮短達成了提高分辨率的要求。
至于真正量產,那就還要靠后,一直到2007年蔡司公司推出的starlith1900i,成為了第一款達到38納米極限分辨率的浸沒式光學器件,asl公司繼而才生產出跨越式的光刻機來。
而且這項技術最大的好處就是,其利用的還是原來的193n干式光刻技術平臺,只不過是單純的介質改變,其他的技術應用并沒有太多改動,所以比起一項嶄新的技術,更能讓客戶接受。
因為李皓的提前指點,徐教授帶領的技術團隊,早在去年就已經開始進行這方面的研究。
李皓就是要利用這停滯的時間,來給國產的光刻機爭取時間。
當然,李皓也清楚的明白,徐教授口中的生產,只是實驗室里面的成績。
而且這還是提前使用了浸入式光刻技術的緣故,真要論起在干式光刻機上的技術,實際上徐教授他們比起asl,還是要差上一些的。
并且從實驗機到完全量產,還有很長的一斷路需要走,但是李皓對此已經很欣慰了。
畢竟比起歷史上同時代的空白處境,此時的國產光刻機,才是真的有了和世界其他公司對陣的希望,也不算是枉費李皓大筆投入進去的研究經費。
所以李皓也是拍著胸脯和徐教授承諾,一定會支持到底,就是砸鍋賣鐵也會把原定計劃給完成下來。
好不容易給徐教授說的心血澎湃,把他給忽悠走后,李皓才和葉順聊起了其中的困難。
雖然因為大環境不好,還有日本光刻機市場被搶的緣故,讓它們有意向對外出售技術。
可是這個要價卻是真的不便宜,要完全達到原先的計劃,之前準備的資金還真的未必足夠。
“錢的事你不用擔心,我這里會給你準備足夠的彈藥,當然這次的金融危機還只是開始,日韓企業以后會受到的影響還將更大。
所以不用表現得太著急,畢竟錢可以備的充足,但是千萬不能當冤大頭。”
有了李皓的這個承諾,葉順也就放心下來。
今天談完了這件事后,葉順從明天開始也就正式過上了放假生活。
于是李皓就問道:“新年你準備怎么過,是要留在香江,還是要去國外?”
葉順聞言就一臉怨氣:“你這話問的,今年你就給我放那么四天的假,還不讓我請年假,我不留在香江,還能去哪?”
“沒辦法,今年確實是要忙一些,只能是讓你辛苦一點了。