李云海只知道有這么一種技術。
但他只知其然,不知其所以然。
浸潤式光刻機技機,具體是怎么樣的,他說不出來。
紀文姝道:“李總,我們現在使用的浸入液是環辛烷。可是我們還存在很多問題沒有解決。對浸入液的充入、鏡頭的沾污、光刻膠的穩定性和氣泡的傷害等關鍵問題,我們都要一一解決。”
李云海道:“多久能解決這些難題?”
紀文姝道:“我現在不好說,難題太多,我們只能一邊研究一邊攻克。”
2000年以前,業界普遍認為193n光刻無法延伸到65n技術節點,而157n將成為主流技術。
然而,157n光刻技術遭遇到了來自光刻機透鏡的巨大挑戰。
這是由于絕大多數材料會強烈地吸收157n的光波,只有caf2勉強可以使用。但研磨得到的caf2鏡頭缺陷率和像差很難控制,并且價格相當昂貴。雪上加霜的是,它的使用壽命也極短,頻繁更換鏡頭讓芯片制造業無法容忍。
有遠見的科學家們,早就看到了未來光刻機的極限。
他們一直在尋求新的突破。
研究浸潤式光刻機的,也不僅僅只有四海集團一家公司。
當前的主流研究方向,是基于157n浸入式光刻。
可是遇到的難題,卻讓所有人止步不前。
現在,紀文姝也遇到了同樣的難題。
其他科研機構,已經放棄了這個課題,轉從其他方面著手研究。
但是四海集團并沒有放棄。
因為李云海知道,幾年以后,浸潤式光刻機,肯定會被研究出來。
也就是說,總有一種辦法,可以突破現在的瓶頸。
可惜,李云海前世并不是做光刻機的。
他對具體的光刻機技術,只知其一,不知其二。
聽紀文姝談及到具體的科研困難,李云海忽然想到了什么,問道:“現在的研究,是基于157n波長?對嗎?”
紀文姝道:“是的,李總,我們現在要做的,就是突破157n波長。可是在157n波長下,水是不透明的液體,我們很難得到想要的折射率。”
李云海用手指輕輕敲擊額頭,說道:“不對!不對!”
紀文姝道:“李總,哪里不對了?你頭痛嗎?要不要幫你按按?”
李云海卻陷入了回憶和沉思。
重生過來十年了!
前世的記憶,對他來說,變得越來越稀薄,也越來越不重要。
他的整個身心,都完全的融入到了現在這個世界。
前世的相關記憶,只有十分特別的,他才會記起來。
人的記憶是很神奇的東西。
可能前幾天發生的事情,很快就被忘記。
但小時候那些獨特的事件,卻一直記憶猶新。
大腦像是一個獨立的存在,它只記下那些它感興趣的事情。
李云海忽然說道:“紀總,不應該基于157n波長,而應該是193n的波長!”