同一時刻,華夏西北,戈壁深處。
軍墾機電代號“鑄劍”的核心研究所,深埋于山體之下。
厚重的鉛合金大門無聲滑開,又迅速在身后閉合,將外界的空氣徹底隔絕。
這里的空氣帶著獨特的味道——冰冷的金屬、灼熱的臭氧、一絲若有若無的化學溶劑氣息,以及……一種近乎凝滯的專注。
巨大的無塵車間里,光潔如鏡的地板倒映著天花板上密集的管線。
最核心的位置,矗立著一臺龐然大物——極紫外光刻機(euv)。
它周身覆蓋著復雜的冷卻管道和閃爍著幽藍光芒的傳感器,像一頭蟄伏的鋼鐵巨獸,核心的真空腔體正發出低沉而持續的嗡鳴。
倪老,這位年近八旬的泰斗,背脊依舊挺得筆直,但花白的頭發下,眼袋深重,皺紋里刻滿了疲憊。
他佝僂著腰,布滿老年斑的雙手穩穩地托著一塊剛剛從光刻機上取下的晶圓,湊近高倍電子顯微鏡的目鏡。
他的動作緩慢而精確,帶著一種朝圣般的虔誠。
屏幕上,納米級的世界在眼前鋪開。縱橫交錯的電路圖案在硅基板上延伸,精細到令人頭皮發麻。
然而,在某個關鍵的連接節點處,顯微鏡視野下清晰地顯示出一片細微的、不規則的燒蝕痕跡——一道死亡般的“黑線”。
“又失敗了。”
倪老的聲音嘶啞,帶著一絲不易察覺的顫抖。他緩緩直起身,摘下老花鏡,用力揉了揉眉心。
連續三十六個小時釘在這臺機器旁,他的體力已逼近極限,但眼神里的火焰卻燒得更旺。
這該死的、逼近物理極限的1納米節點,每一步都像是在刀尖上跳舞。
“倪老!”一個同樣沙啞聲音響起。凱文,這個團隊里最富沖勁的天才,此時也已經年僅六旬,他頂著鳥窩般的亂發,手里揮舞著剛從超級計算機跑出來的模擬數據報告,幾乎是沖了過來。
“模型結果出來了!問題很可能出在光刻膠的鏈式反應上!能量劑量和曝光時序的耦合效應比我們預想的還要敏感!尤其是這個‘拐點’……”
他指著報告上一條陡峭攀升的曲線:
“看這里!能量波動哪怕只有0.5%,在那個毫秒級的曝光窗口,就足以引發局部過曝,形成黑線!”
倪老渾濁的眼睛瞬間銳利起來,像鷹隼鎖定了獵物。
他一把抓過報告,渾濁的目光緊緊鎖住凱文指出的那處陡峭曲線。“0.5%?毫秒級窗口?”
他喃喃自語,眉頭緊鎖,“也就是說,我們現有的光刻膠配方和工藝控制精度,在1納米尺度下,已經達到了理論極限的臨界點?差的不是設備,是材料本身?”
凱文用力點頭,汗水沿著額角滑落:
“是的!傳統光刻膠的分子鏈結構在euv高能光子沖擊下的穩定性,在1納米尺度下根本扛不住!”
“我們需要全新的材料!一種……一種能在這個能量密度和時間尺度下保持‘剛性’,又能被精確‘切斷’的東西!”
整個區域的研究員們都圍了過來,空氣凝重得幾乎能擰出水。