刻蝕，顧名思義，用腐蝕的方法進行雕刻，在晶圓上雕刻出線路圖。
刻蝕設備，制造難度雖然比不上光刻機，但一樣是半導體制造領域制造難度最高的幾種設備之一，尤其是高等級的刻蝕設備，目前世界上也就泛林、應用材料、東京電子這三家可以做。
而這三家刻蝕設備制造公司，林志堯都在里面工作過，而且都是團隊的核心人物、領導人物，是它們刻蝕設備能夠成功并且邁向高端的最大功臣
“現在的刻蝕技術按工藝劃分可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。”
“濕法刻蝕包括化學刻蝕和電解刻蝕，使用的是液體試劑，所以成本較低，操作簡單，應用范圍較廣。但是，這種方法容易出現邊側形成斜坡、要求沖洗或干燥等步驟，不適合越來越先進的制程。”
“干法刻蝕就不同了，它的成本是很高的，選擇的材料刻蝕性差，但是沒有濕法刻蝕的缺點，通常是用離子束、高密度等離子體、反應離子等來刻蝕，刻蝕的側面具有各向異性，具有較小的光刻膠脫落的優點，刻蝕率也高，所以現在的先進制程的小特征尺寸精細刻蝕中，干法刻蝕有優勢。”
原本應該激烈談判的現場，赫然變成了一場技術交流會。
等講解完，林志堯才發現自己似乎講的太多了，不由失笑搖頭。
好在陳副校長、周副主任、趙默等人都一臉認真的在傾聽，每個人都大有收獲的樣子，林志堯這才暗松了口氣。
“所以，反應離子源的問題雖然解決了，但其實對于國產刻蝕設備的制造來說只是萬里長征第一步，而且反應離子刻蝕還需要更進一步的改進”
趙默忽然若有所思的說道。
林志堯點頭道“是這樣的。”
“竟然如此復雜”
趙默暗暗震驚。
都說半導體是人類現代工業文明的結晶，他一直沒什么概念，注意力和絕大部分的國人一樣都集中在光刻機上。現在他知道了，的確是結晶，在半導體制造領域幾乎沒什么存在感的刻蝕設備竟然都如此的復雜，更別說光刻機了。
同時，他也知道了，各種科學原理的確代表了人類現代文明，但實際的工業制造一樣代表著人類現代文明，不存在誰比誰高。
能夠把這些原理打造出各種各樣的機器設備，服務于現代文明，源源不斷的為人類創造財富，某種程度上甚至更加的重要
“真不容易啊”
陳副校長感嘆道，他是行政校長，不是學術類的，所以對這些詳細的技術問題是第一次聽說。
隨后，他好奇的詢問了一句“我們國家在這一領域和國外的差距有多大”
林志堯不假思索回答道“二三十年吧，如果現在奮起直追，我相信在十年內可以把差距縮小到十年以內。”
“”
陳副校長感到無比的驚愕，然后就繼續這個話題了。
不太愉快的話題還是不要長談的好。
趙默倒是無所顧慮，他知道，這個差距在的確很大，甚至在未來十年內都沒什么改變。但是，這對于一個擁有舉國體制，可以集中力量辦大事的紅色國度來說，這些都是可以解決的，因為半導體制造逐漸接近極限，這就給了我們追上來的可能。